激光輔助連接
季凌飛根據(jù)可伐合金和玻璃兩種材料對(duì)1.07pm波長(zhǎng)的激光具有選擇吸收機(jī)制，然后利用兩者完全不同的熱力學(xué)參數(shù)，使饑荒束直接作用金屬表面的氧化層，然后通過熱傳導(dǎo)及后續(xù)的激光能量輸入等物理化學(xué)機(jī)制，是玻璃和金屬發(fā)生一系列的反應(yīng)，最終形成良好的街頭。由于激光聚焦后光斑功率密度非常高，可使加工表面溫度迅速上升，輻照結(jié)束溫度則有迅速下降，高溫急冷可致極小熱影響區(qū)，從而減小封接處得應(yīng)力。
馬子文利用激光與物質(zhì)相互作用的熱效應(yīng)實(shí)現(xiàn)微光系統(tǒng)器件的局部加熱鍵合原理，提出了一種新的無需外壓力作用的 Si /玻璃激光局部鍵合方法，其實(shí)質(zhì)是直接鍵合與局部鍵合的結(jié)合。在鍵合過程中既發(fā)生了高溫退貨又發(fā)生了一部分材料的熔融。試驗(yàn)首先對(duì)硅和玻璃進(jìn)行親水性表面活化處理和預(yù)鍵合，然后選擇合適的激光參數(shù)既加工環(huán)境實(shí)現(xiàn)了兩者的鏈接。研究了激光功率、激光掃描速度、底板材料等的影響，發(fā)現(xiàn)激光功率越大，掃描速度越小，鍵合線的寬度就越大。該方法、能有效減小鍵合片的殘余應(yīng)力，控制鍵合線寬，剪切可達(dá)6.5-6.8 Mpa 。
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